扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
多级离心真空泵出水管口在出水池正常水位以上 若是出水口在出水池正常水位以上，虽添加了水真空泵扬程，但削减了流量。如因地势条件所限，出水口有必要高出出水池水位，则应在管口加装弯头和短管，使水管变成虹吸式，下降出水口高度。
设底阀时，进水管下一节不是笔直的 如这样装置，阀门不能自行封闭，形成漏水。正确装置办法是：装有底阀的进水管，下一节佳是笔直的。如因地势条件约束不能笔直装置，则水管轴线与水平面夹角应在60°以上。
旋转真空泵又有如下几种形式：① 油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。干式螺杆真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳内形成泵壳同心的环液，环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。